ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Смотрите так же термины и статьи: Кремния нитрид Нитрида кремния пленки нанесение катодным испарением Нитрида кремния пленки скорости ВЧ катодного травления Нитрида кремния пленки травление Нитриды Пленки нитрида и оксинитрида кремния