ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Метод балансовых уравнений из "Методы расчета вакуумных систем" В настоящее время для расчета сложных криовакуумных систем используются модели, основывающиеся на применении достаточно сложного математического аппарата (метод Монте-Карло пробной частицы, метод угловых коэффициентов и др.). На начальном этапе проектирования нецелесообразно применять сложные методы расчета, так как это может привести к значительным временным затратам, а результат расчета может показать принципиальную невозможность создания такой системы по каким-либо причинам. Ввиду этого возникает необходимость создания методов, обеспечивающих приемлемую точность расчета и не приводящих к существенным затратам временных ресурсов. [c.79] В работе [10] бьша предложена методика расчета насосов поверхностного действия осесимметричных структур. Большинство разработанных на сегодняшний день насосов имеют именно такую структуру. Таким образом, данный метод позволяет решить достаточно большой класс задач. [c.79] Условия 2 и 3 выполняются только при небольших значениях коэффициента прилипания, так как при значениях коэффициентов прилипания, близких к 1, возможно образование лучевых эффектов за счет фокусировки потока. Это может иметь место при значительных температурных градиентах в поглощающей структуре. Кроме того, исследования, проведенные на кафедре низких температур МЭИ [11], показали, что предположение о косинусном распределении скоростей частиц является достаточно грубым. Например, на выходе из испытательной камеры структура молекулярного потока существенно отличается от косинусного закона распределения (см. рис. 3.28). [c.80] В то же время для откачных устройств с нераспьшяемыми газопоглотителями активность их геттерной поверхности сравнительно низка, а расчеты методом Монте-Карло показали, что даже большие отклонения от косинусного распределения незначительно сказываются на конечных результатах. [c.80] В работе [10] предлагается следующая методика расчета. Одним из основных параметров насоса поверхностного действия является коэффициент захвата, определяющийся отношением числа молекул, поглощенных в насосе, к числу молекул, попавших в насос из какого-то объема V (рис. 2.16). Таким образом, если Щх) — число частиц, влетающих в сечение [далее поток Л (х)], а М х) — число частиц. [c.80] Ограничимся вычислением коэффициента захвата на малых отрезках времени и предположим, что за это время коэффициент прилипания практически не меняется, а также что вероятности взаимодействия частиц с поверхностью поглотителя не зависят от значения и знака их скорости. [c.81] Рассмотрим уравнения баланса частиц, находящихся в элементарном объеме (рис. 2.17). [c.81] Из приведенных уравнений следует, что -y)N x)P x)hxP х) частиц переходят из потока N x) в поток М х). [c.82] При этом (I - у)М (х)Р (х)АхР (х) частиц переходят из потока М х) в поток Щх). [c.82] Вывод формул для плотностей вероятности взаимодействия Р (х) молекул с боковой поверхностью поглощающей структуры основан на предположении о независимом характере распределений по скоростям и координатам. [c.83] Рассмотрим частицы потока Щх). [c.83] Вернуться к основной статье