ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Электрохимический механизм саморастворения кремния из "Электрохимия германия и кремния" Согласно данной реакции соотношение НЫОз НР = = i 4,5. Как отмечалось выше, максимальная скорпсть травления кремния действительно имеет место именно при соотношении 1 4,5. [c.144] Общая концентрация легирующей примеси в кремнии не является существенным фактором, определяющим скорость саморастворения. [c.144] Вернуться к основной статье