ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Процессы саморастворения германия и кремния из "Электрохимия германия и кремния" Все предложенные для травления германия и крем-пня смеси содержат в качестве обязательного компонента какой-либо сильный окислитель, например перекись водорода или азотную кислоту. В состав травителей также входят и комплексообразующие агенты (плавиковая, щавелевая, лимонная, винная кислоты и др.). [c.135] Состав большинства растворов, применяемых для травления германия и кремния, подобран эмпирическим путем, а механизм происходящих при травлении процессов изучен слабо. [c.135] Из небольшого количества исследований процесса растворения германия большинство работ посвящено изучению скоростей растворения и почти не касается механизма происходящих реакций Существуют две теории саморастворения германия и кремния химическая и электрохимическая. Согласно первой теории , процесс происходит в две стадии — окисление германия (кремния) и растворение образующегося окисла скорость каждой из двух стадий рассчитывается с точки зрения теории абсолютных скоростей реакции. Согласно второй теории, процесс саморастворения происходит по электрохимическому механизму . Поверхность электрода энергетически неоднородна, поэтому на ее микроучастках возможно одновременное протекание противоположно направленных сопряженных электрохимических реакций анодной — перехода атомов полупроводника в раствор в виде ионов, и катодной — какого-либо восстановительного процесса (например, восстановления HNOз или Н2О2). Суммарная скорость всего процесса в этом случае определяется скоростью наиболее медленной реакции. [c.135] Вернуться к основной статье