ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Приборы для измерения парциальных давлений из "Вакуумные системы и их элементы" В масс-спектрометрических приборах анализируемый газ ионизируется. Образовавшиеся положительные ионы разделяются по массовым числам М = — (отношение массы иона к его заряду). Для однозарядных ионов массовые числа совпадают с их молекулярными весами. [c.178] Статические масс-спектрометры с разделением ионов в магнитном поле представляют собой стационарные приборы, предназначенные для количественного анализа состава газов, паров, жидкостей и твердых веществ. Их разрешающая способность не менее 100, рабочий диапазон давлений Ь 10 —Ь 10 мм рт. ст. [c.178] Приборы серии МХ предназначены для химического анализа, серии МИ—изотопного, серия МВ—приборы высокой разрешающей способности. [c.178] Статические масс-спектрометры сравнительно редко применяются для измерения парциального состава газов в высоковакуумных установках. [c.178] В импульсных времяпролетных масс-спектрометрах разделение ионов по массам происходит в результате различной скорости движения ионов различных масс по инерции в пространстве анализатора, свободном от электрических и магнитных полей. Пучки ионов получают импульсной ионизацией электронным лучом или подачей импульса напряжения на диафрагму при постоянном электронном потоке. Выпускаемые отечественной промышленностью времяпролетные масс-спектрометры МСХ-2М и МСХ-ЗА предназначены для исследования состава газов в высоком вакууме с регистрацией быстроты его изменения. Их разрешающая способность не менее 20, диапазон анализируемых масс от 1 до 250, рабочий диапазон давлений Ь10 —IX X 10 мм рт. ст. [c.178] Омегатронный измеритель парциальных давлений ИПДО-1 предназначен для определения содержания компонентов остаточных газов в высоковакуумных системах при давлениях от 1-10 до 3-10 мм рт. ст. в диапазоне массовых чисел от 2 до 100. [c.178] Прибор состоит из измерительной установки и омегатронного датчика РМ0-4С (рис. 159). [c.178] Потребляемая прибором (вместе с ЭПП-09) мощность не превышает 300 вт. [c.179] Вернуться к основной статье