ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Классификация примесей из "Тетрахлор- и трихлорсилан" Технические хлориды кремния, синтезированные тем или иным методом, содержат микроколичества различных примесей. Концентрация и химическая природа примесей обусловлены в первую очередь качеством сырья для хлорирования и условиями синтеза. Так, тетрахлорсилан, полученный из карборунда, содержит значительное количество углерода [2591, который невозможно удалить при ректификации. Процесс получения трихлорсилана из ферросилиция протекает при температурах более низких, чем процесс получения тетрахлорсилана. Следовательно, в первом случае продукт будет содержать меньше примесей. [c.57] Процессы хлорирования, как и другие многочисленные технологические операции очистки хлоридов к мния, сопровождаются переходом в конечный продукт примесей из материала аппаратуры. [c.57] При очистке кремния для полупроводниковых целей необходимо решать вопрос о специфике действия той или иной примеси. [c.57] Шетке часть атомов кремния [2601. К простым донорам относятся фосфор, мышьяк и сурьма. [c.58] Необходимо отметить, что в литературе нет единого принципа оценки эффективности методов очистки хлоридов кремния. Некоторые исследователи оценивают чистоту получаемого кремния числом атомов-примесей на миллион атомов основного вещества, другие исходят из электрофизических свойств монокристаллов, выращенных по методу Чохральского, третьи — из электрофизических свойств монокристаллов, полученных методом бестигельной зонной плавки. [c.58] Эффективность методов очистки, если судить по сопротивлению бестигельных монокристаллов Si, существенно повысилась (в 1959 г. получали продукт с сопротивлением 1000 ом-см, а в 1964 г. — 10 000 ом-см, т. е. более чистый) [200]. [c.58] Вернуться к основной статье