ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Измерение вакуума в готовых электровакуумных при- к борах из "Основы вакуумной техники Издание 4" В то же время при описании вакуумных насосов всевозможных конструкций в качестве достигаемого ими самого низкого предельного давления указывается давление порядка 10 —10 мм рт. ст. Точно так же самый чувствительный из всех манометров—ионизационный—в практическом выполнении имеет, как уже отмечалось, в качестве нижнего предела иамереиия давления 0,5—1 10 мм рт. ст. [c.242] Правда, при помощи поглотителей и ловушек в отпаянных сосудах удается получать и поддерживать сверхвысокий вакуум, но при измерении достигаемых при этом давлений возникают большие трудности, так как даже ионизационный манометр (обыч ной конструкции) в области сверхвысокого вакуума оказался неприменимым. [c.242] Фотоэлектронный ток с коллектора ионов и является не зависящ,ей от давления слагающей суммарного тока в цепи коллектора, создающей тем большую помеху при измерении давления, чем меньше ионный ток, т. е. чем ниже измеряемое давление пр 1 достаточно низких давлениях (малых ионных токах) ионизационный манометр практически показывает лишь фотоэлектронный ток, чем и обусловливается практический нижний (по давлению) предел применения ионизационного манометра. [c.243] Большая потребность в исследовании ряда явлений в условиях сверхвысокого вакуума (изучение свойств поверхностей, совершенно чистых от адсорбированной пленки газа, исследование изотопов и т.п.) заставила обратиться к разработке такой манометрической лампы для ионизационного манометра, в которой помеха в виде фотоэлектронного тока с коллектора была бы минимальной. [c.243] Помимо этого, новое расположение электродов манометрической лампы привело к более благоприятному распределению электрического поля, благодаря чему возросла эффективность электрониого тока с точки зрения ионизации газа. [c.244] Наконец, расположение коллектора ионов внутри, а не вне сетки, привело к уменьшению количества ионов, теряемых в следствие их ухода к стенкам колбы иначе говоря, образующиеся в результате ионизации газа ионы при новом расположении в большем количестве направляются именно к коллектору ионов, т. е. по своему прямому назначению. [c.244] Описанные усовершенствования поэвол1или продвинуть предел практического применения ионизационных манометров с 0,5—1,0 10 до 10 °—10 мм рт. ст., т. е. примерно на четыре порядка, и охватить область сверхвысокого вакуума. [c.244] При исследованиях, связанных с усовершенствованием ионизационного манометра, выяснилось также, что его можно использовать для получения сверхвысокого -вакуума. [c.244] Выше уже указывалось, что при достаточно, хорошем обезгаживании всех деталей манометрической лампы последняя становится способной поглощать газы, поступающие в манометр. Это свойство, являющееся с точки зрения измерения давления отрицательным, оказалось весьма полезным с точки зрения получения сверхвысокого вакуума. [c.244] В связи с этим об явлении поглощения газов ионизационным манометром необходимо поговорить более подробно. Поглощение газов внутри манометрической лампы при работе ионизационного манометра происходит в основном двумя путями. Во-первых, положительные ионы, цолучаю-щиеся в результате ионизации остаточного газа, устремляются к коллектору ионов и стенкам, где они нейтрализуются и адсорбируются во-вторых, ряд газов (Ог, С1 и др.) поглощается химическим путем, взаимодействуя с накаленным катодом. [c.244] Отметим далее, что получение сверхвысокого вакуума за счет одного только откачивающего действия ионизационного манометра (без применения ловушек или поглотителей) возможно лишь в вакуумных системах, изолированных от ИСТОЧ1НИКОВ каких-либо паров, в том числе от диффузионных насосов. В связи с этим для разобщения вакуумной системы от насоса необходимо пользоваться вентилем, не требующим смазки и в то же время достаточно герметичным (см. 8-2). Наконец, для получения сверхвысокого вакуума при помощи ионизированного манометра необходимо предварительно устранить малейшие течи в вакуумной системе, а вакуумную систему и манометрическую лампу тщательно обезгазить. Откачанная насосами до возможно более низкого давления и обезгаженная вакуумная система изолируется от насосов (вентилем) если течи нет, то откачка продолжается при помощи ионизационного манометра. [c.245] Таким образом, для получения сверхвысокого вакуума при помощи ионизационного манометра основное время теряется на профилактические операции (обезгаживание, устранение течей), после чего откачка вакуумной системы небольших размеров до давления 10 —мм рт. ст. занимает уйсе время порядка всего лишь нескольких десятков минут. [c.245] На принципе работы ионизационного манометра основана проверка вакуума в откачанных и отпаянных электровакуумных приборах. В этом случае (манометром является сам электровакуумный прибор, к электродам которого подводятся соответствующие напряжения. [c.246] Тем же ионизационным манометром можно пользоваться и для контроля вакуума в электронных лампах еще до их снятия с откачной установки, но для этого требуются значительно более чувствительные приборы, чем обычно применяемые при откачных установках. В качестве грубого приема оценки степени откачки применяется наблюдееие за постоянством тока на анод (анодного тока) при полной рабочей наг(рузке лампы. Если вакуум удовлетворителен, то положительных ионов образуется мало следовательно, к анодному току присоединяется лишь незначительное количество электронов, освобождающихся из молекул газа при их ионизации, анодный ток практически остается постоянным. При плохом вакууме количество освобождающихся из ионизованных молекул электронов может быть достаточно большим, чтобы, присоединяясь к электронам, эмитируемым катодом, заметно увеличивать анодный ток. [c.247] Аналогичным образом оценивается вакуум и в электронно-лучевых трубках, причем модулятор используется в качестве разгоняющего электрода, а анод — в качестве коллектора ионов. [c.247] Вернуться к основной статье