ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Металлизация в вакууме из "Вакуум и его применение" В настоящее время вакуум находит широкое применение для нанесения тонких металлических пленок на различные поверхности. Наиболее простым способом нанесения тонких пленок является осаждение паров металла за счет конденсации на предна вкаченной к. покрытию поверхности. [c.81] Таким способом, например, стекло можно покрывать пленками алюминия, мапния, меди, серебра, золота, платины, железа, никеля, хро ма и других металлов. [c.81] Сразу же после удаления выделившихся газов снова включается нагревательный элемент и металл доводится до такой температуры, при которой он начинает интенсивно испаряться при этом давление в рабочем объеме быстро нарастает и ток снова вык чвд-чается. [c.82] Для того чтобы пленка металла прочно держалась на поверхности стекла, -последняя должна быть тщательно очищена от следов жира и различного рода загрязнений. Недопустимо также присутствие воды в рабочем объеме установки, так как в этом случае покрытие становится хрупким и цвет его изменяется вследствие образования окислов металлов. Присутствие масляных паров также ухудшает качество покрытия. [c.82] Удаление поверхностных загрязнений и поглощенного стеклом газа производится путем нагревания стекла в вакууме при температуре 400—500° за счет помещения стеклянных деталей в нагревательный элемент в виде спирали из нихромовой проволоки. Поверхность стекла может очищаться также путем бомбардировки ионами. В этом случае стеклянные детали помещаются вблизи электродов, между которыми поддерживается электрический разряд при давлении 10 — 10 мм рт. ч т. [c.82] Испаряющийся металл конденсируется не только на поверхностях обрабатываемого предмета, но и на внутренней поверхности рабочей камеры, если не принять специальные меры для предотвращения этого явления. Осаждение металла на внутренних поверхностях рабочей камеры недопустимо, так как в этом случае стенки камеры поглощают значительное количество газов, что существенно затрудняет процесс откачки и достижение требуемого рабочего разрежения при последующих циклах нанесения покрытий. Наличие в камере съемного латунного экрана предотвращает непосредственное попаданиелспаряющих молекул металла на стенки камеры, а с самого экрана они могут по мере надобности удаляться химическим способом в случае необходимости экран вообще может быть заменен. [c.82] Для испарения металла можно пропускать электрический ток непосредственно через ленту или проволоку из испаряемого металла ИЛИ же использовать в качестве нагревательного элемента проволоку или спираль из тугоплав1кого металла (вольфрам, молибден), на которой укрепляется кусок испаряемого металла. При нагреве металл, плавясь, превращается в каплю, которая затем постепенно испаряется. [c.82] Кро ме того, испаряемый металл иногда помещают в корытце, чашечку или небольшой тигелек из другого тугоплавкого металла со значительно более высокой температурой плавления, который в свою очередь нагревается либо электрическим током, либо индукционными токами от генератора высокой частоты. [c.83] Тонкие металлические пленки можно наносить пе только путем испарения металла и конденсации его в вакууме, но также с помощью катодного распыления. [c.83] Сущность катодного распыления состоит в том, что под дей-, ствием электрического разряда в разреженном газе возникает явление переноса частиц металла с отрицательного электрода на какую-либо поверхность, помещаемую в области разряда, благодаря чему поверхность покрывается очень тонким слоем металла. [c.83] Устройство для металлизации путем катодного распыления изображено на рис. 56. Стеклянный предмет 11, который требуется металлизировать, устанавливается на алюминиевом анодном диске 10. Над металлизируемым предметом находится катод 12 из распыляемого металла, прикрепленный к пустотелому катодному стержню. В процессе распыления катодный стержень охлаждается проточной водой. [c.83] Давление, при котором производится катодное распыление, обычнО составляет мм рт. ст. и регулируется с помощью на-текателя. [c.83] Форма катода чаще всего выбирается такой, чтобы она соответствовала форме покрываемой металлом поверхности. Так, например, для металлизации внутренней поверхности трубки в качестве катода употребляют проволоку, располагая ее вдоль оси трубки. Для металлизации наружной поверхности трубки применяют катоды в виде полых цилиндров. [c.83] Скорость катодного распыления прапорциопальна приложенному между электродами напряжению, силе разрядного тока и обратно пропорциональна давлению. [c.83] Вернуться к основной статье