ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Общие сведения о вакуумметрах из "Вакуумметры" Приборы для измерения малых давлений в вакуумной технике называются манометрами или вакуумметрами. Они обычно состоят из двух частей — манометрического преобразователя и измерительной установки. Все многочисленные приборы для измерения малых давлений, получившие в настоящее время широкое распространение, могут быть разбиты на две группы одна из них основана на абсолютных, другая — на относительных методах измерения. [c.16] НОЙ точностью и не нуждаются в сличении с показаниями образцовых приборов. Работа абсолютных манометров не зависит от рода газа, заполняющего измерительный объем. К таким приборам относятся поршневые, деформационные, жидкостные и компрессионные манометры. Нижний предел измеряемых давлений ограничивается величинами порядка мм рт. ст. [c.17] Вторая группа приборов для измерения малых давлений основана на зависимости от давления некоторых физических процессов, протекающих в вакууме. К ним относятся широко распространенные тепловые и ионизационные манометры, а также значительно реже встречающиеся вязкостные и радиометрические манометры. [c.17] Ж Ионизационные манометры и работающие на этом же принципе рмерители парциальных давлений определяют молекулярную концентрацию смеси газов или отдельных ее компонентов. [c.17] В вязкостных манометрах измеряется сила трения, возникающая между газом и поверхностью твердого тела при их относительном движении. [c.17] Классический вязкостный манометр состоит из двух коаксиль-ных цилиндров, один из которых вращается с большой скоростью, а другой связан со стрелкой, отклонение которой пропорционально давлению. Градуировка таких манометров зависит от рода газа. Теория вязкостных манометров изложена в работе [142]. [c.17] Представляют интерес вязкостные манометры непрерывного действия, имеющие диапазон измеряемых давлений 760ч--нЮ-2 мм рт. ст. [140, 141 ]. [c.17] Радиометрические манометры измеряют дополнительный импульс силы, приобретаемый молекулами газа на поверхности с повышенной температурой. [c.17] Такие манометры в последнее время находят широкое применение для градуировки манометров в области давлений 10 -ь - -10 мм рт. ст. [147, 148]. [c.17] Известен ряд других способов измерения низких давлений. Основой некоторых из них является использование изменения физических констант чистой металлической поверхности при заполнении ее слоем адсорбированных газов. Не останавливаясь подробно на изложении этих способов, так как они не нашли широкого применения, перечислим лишь те, с помощью которых может быть оценена степень вакуума. К ним относится наблюдение за изменением работы выхода электронов с поверхности металла. Это изменение может быть обнаружено измерением фотоэлектронной эмиссии при фиксированной освещенности [143] или измерением длинноволновой границы фотоэффекта [144]. Другим способом, характеризующим изменение состояния металлической поверхности в зависимости от давления окружающего газа, является наблюдение за изменением контактной разности потенциалов [145]. В работе [146] описывается применение эмиссионного микроскопа с холодным катодом для определения состояния вакуума. [c.18] Точность, с которой можно провести предварительный расчет градуировочных характеристик перечисленной группы приборов для относительных измерений давления, ниже, чем у абсолютных манометров. Поэтому такой расчет обычно не производят, а градуируют эти приборы по образцовым. Показания таких приборов зависят от рода газа, заполняющего манометр, и могут быть оценены с достаточной для практики точностью лишь для известного состава измеряемой смеси газов. [c.18] Рекомендуется выбор манометра производить в соответствии с технологическим процессом, осуществляемым в вакуумной камере. Например, при изучении тепловых процессов следует пользоваться тепловым манометром, а при изучении вопросов ионизации — ионизационным. [c.19] Вернуться к основной статье