ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Реакции нитренов в полимерных матрицах из "Фотохимические процессы в слоях" Из этих данных видно, что добавление уже небольшого количества толуола к полистиролу резко уменьшает время жизни нитрена. [c.120] При фотолизе азидоантрацена в различных полимерах изменяется соотношение выходов первичных и вторичных аминов (табл. П1. 2). Авторы считали, что образование первичного амина отвечает отрыву водорода триплетом, а вторичного — внедрению синглетного нитрена в связь С—Н [82]. Однако вторичные амины могли образовываться и в результате рекомбинации радикалов — первичных продуктов перемещения Н от связи С—Н к азоту нитрена (псевдовнедрение). Из данных табл. III. 2 видно, что чем жестче матрица, тем выход вторичных аминов больше. [c.120] Реакция образования хинониминов специфична для данной полимерной матрицы и наблюдалась у модельных фенольных систем. [c.120] Так как эта скорость второй ступени фотолиза определяет интенсивность фотоструктурирования полимера, то, естественно, ее рост благоприятно сказывается на практически ценных характеристиках фоторезистивной композиции, тогда как падение общего квантового выхода фотолиза снижает общую светочувствительность системы. [c.121] Упомянутый при рассмотрении патентной литературы и нашедший широкое практическое применение 2,6-бис (4-азидобензили-ден)-4-метилциклогексанон (ДЦГ) и структурно близкие к нему соединения, полученные на основе циклоалканонов, отобраны в результате систематического исследования большой группы соединений некоторые из них, а также другие бифункциональные азиды представлены в табл. III. 4. [c.122] Отбор этих соединений для практического использования про изводился на основе комплекса весьма многообразных требований например по хорошей растворимости в органических растворите лях, отсутствию склонности к выкристаллизовыванию в светочув ствительной композиции, совместимости с полимерами и, наконец синтетической доступности. Диазиды доллсны эффективно сшивать полимеры под действием света, что оценивается, например, по их интегральной светочувствительности (табл. III. 4) [5, 25]. [c.122] Как видно из приведенных в табл. III. 4 данных, по химическому строению диазиды делятся на четыре группы к первой группе (соединения 1—6) относятся вещества, в которых азидсодержащие арильные ядра не сопряжены, ко второй (7—20)—соединения, в которых электронное взаимодействие между такими ядрами осуществляется через карбонил, к третьей (21—27)—диазиды, в молекулах которых имеется единая сопряженная система, к четвертой (28—31)—формально сопряженные и несопряженные диазиды, содержащие гетероатом фосфора, мышьяка и другие в цепи, связывающей два ароматических ядра. [c.122] Как следует из табл. III. 4, азиды первой группы не представляют практического интереса в силу низкой эффективности их в качестве сшивающих компонент полимерного слоя. Одна из причин этого — несовпадение спектров применяемого источника света и поглощения диазидов. Азиды второй и третьей групп с этой точки зрения более перспективны, что, в частности, отражено в ряде патентов на использование соединений 9—20,26. [c.122] При переходе к полиизопреновым циклокаучукам с мол. массой до 60 000 многие из этих недостатков устраняются, и, кроме того, данный полимер обеспечивает создание твердого, эластичного, нелипкого слоя с хорошей адгезией к подложкам, достаточно кислотостойкого из-за относительно малой дефектности полимера. Именно поэтому циклокаучуки и применяются на практике. Учитывая их преимущества и судя по новейшим данным, усилия исследователей направлены на модификацию циклокаучуков путем введения новых реакционноспособных функциональных групп. Так, предлагается композиция на основе эпоксидированного циклокаучука, которая обладает великолепной адгезией к подложке и большой разрешающей способностью фотолитографического процесса [91]. [c.125] Любопытные результаты были получены при изучении структурирования гидрофобных промышленных карбоцепных каучуков, либо не содержащих кратных связей, либо с непредельностью не более 6%. Все эти полимеры начинают структурироваться при больших световых потоках, чем циклокаучуки, и сшивка идет менее интенсивно. Однако их фотоструктурирование протекает в общем однотипно для полностью насыщенных полимеров или имеющих 6% двойных связей (табл. П1. 6). [c.126] Пороговая светочувствительность рассматриваемых диазидов была приведена к сопоставимым относительным единицам с учетом измеренных квантовых выходов (табл. III. 8). [c.130] Фотолитический процесс приводит в этих диазидах к различным продуктам фотолиза. У арил- и сульфонилазидов наиболее вероятно в реакцию структурирования вступают триплетные нитрены как показывают данные фотолиза в растворах, карбонил-нитрены легко перегруппировываются в изоцианаты последние, возможно, и осуществляют сшивку полимеров с подвижными водородными атомами [88]. [c.130] Вернуться к основной статье