ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Получение металлических покрытий с определенной структурой из "Химия и технология карбонильных материалов" При травлении покрытий смесью Кз[Ре(СЫ)б] и КОН проявляется столбчатая структура вольфрамовых покрытий, полученных при 800—900 °С. В ней ярко выражены границы зерен (см. рис. 81). При средних температурах подложки (400—500 °С) столбчатая структура пересекается поперечными граничными слоями. При низких температурах (340— 400 °С) столбчатость исчезает, покрытие состоит исключительно из поперечных слоев с темными включениями. При этом примеси концентрируются на границах зерен, ухудшая качество вольфрамового покрытия. [c.208] Таким образом, наиболее качественные, с минимальным содержанием примесей, вольфрамовые покрытия можно получить при температурах подложки 800 °С и выше и температуре карбонила порядка 50 °С. [c.208] Аналогичный анализ, проведенный для молибдена, хрома и рения, позволяет определить приблизительно ту же температуру подложки (800°С) при умеренной подаче карбонила. В случае получения железных и никелевых покрытий с минимальным содержанием примесей температура подложки должна находиться в интервале 150—200 °С. [c.208] Указанные величины рекомендуемых температур целиком согласуются с изложенными ранее термодинамическими величинами. [c.208] Вернуться к основной статье