ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Получение чистых металлических покрытий и покрытий с заданным содержанием углерода из "Химия и технология карбонильных материалов" Из термодинамических расчетов, приведенных в четвертой главе, следует, что температура нагревания подложки в значительной степени предопределяет теоретическую возможность образования примесей в металлическом покрытии в виде свободного углерода, карбидов и окислов металла. С ростом температуры вероятность их образования уменьшается. При этом, чем глубже вакуум, тем меньше содержание примесей в карбонильном металлическом покрытии. [c.200] Как показывает химический анализ, свободный углерод в карбонильных металлических покрытиях практически всегда отсутствует. С другой стороны, микротвердость покрытий достигает существенных величин, и характер ее изменения при различной температуре можно сравнивать с изменением содержания углерода в покрытии (см. рис. 77). В связи с этим предполагали [246] наличие карбида W2 -при термической диссоциации W( 0)6. [c.201] Учитывая, что в чистом W2 содержится 3,16% углерода, ориентировочно можно установить зависимость содержания фазы W2 в вольфрамовом покрытии от температуры образца. Из рис. 77 следует, что при 400 °С в покрытии может быть не менее 30% W2 . С ростом температуры содержание карбида уменьщается, и он целиком исчезает при 1000°С. При этой температуре процесса углерод может находиться в покрытии, по-видимому, лишь в виде твердого раствора. [c.201] С помощью рентгенографического фазового анализа подтверждено предположение, что при температуре подложки 400—420 °С покрытия в основном состоят из карбида W2 , имеющего гранецен-трированную кубическую решетку (ГЦК), и содержат в небольшом количестве чистый вольфрам (рис. 78). [c.201] При температуре карбонила 50 °С фаза W2 исчеза ет уже при температуре образца 500°С. При температуре карбонила 70°С наблюдаются слабые линии W2 даже при нагревании образца до 900 °С. Последнее, вероятно, можно объяснить загрязнением покрытий в результате объемных процессов, протекающих при высоких температурах. [c.203] При высоких температурах образца (800—1000 °С) покрытия целиком свободны от карбидной фазы W2 (см. рис. 78). [c.203] Температуру нагрева образца при получении наиболее чистых металлических покрытий можно снизить небольщими добавками водорода, который, взаимодействуя с примесями, переводит их в газообразное состояние и выводит из системы. Мольное соотношение H2 W( 0)e должно быть равным 4 1. Однако во избежание падения вакуума приходится значительно усиливать отсос из системы. Поэтому введение водорода не всегда оказывается целесообразным. [c.203] Вернуться к основной статье