ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Металлические пленки и покрытия из "Химия и технология карбонильных материалов" В последнее время привлекает внимание химический способ получения металлических пленок и покрытий в газовой фазе путем термической диссоциации паров летучих химических соединений на поверхности, нагретой до температуры их разложения. Наиболее широко для этой цели применяются галогениды [344, 368] и карбонилы металлов [21, 236, 246, 370—373, 377, 381-, 395—401, 411, 422—424]. [c.197] Низкая температура процесса, доступность исходных веществ, простота оборудования, большая скорость, легкость металлизации внутренних поверхностей и сложнопрофильных изделий, возможность автоматизации процесса и, наконец, высокое качество образующихся металлических слоев — все это позволяет считать парофазный метод получения металлических пленок и покрытий одним из наиболее перспективных [371]. [c.197] Возможность получения металлических слоев из газовой фазы путем термической диссоциации карбонилов была установлена еще в 1890 г. Л. Мондом [21, 120]. В Советском Союзе исследования начались в пятидесятых годах. [c.197] Благодаря гораздо более низкой температуре проведения процесса по сравнению с другими парофазными методами разложение карбонилов металлов может быть с успехом применено для металлизации пластмасс, тканей и бумаги. Процесс получения покрытий в первую очередь зависит от температуры испарения, температуры разложения и летучести исходных химических соединений. Естественно, свойства получаемых металлических слоев зависят от рассмотренных ранее технологических факторов — температуры подложки, давления (вакуума) в системе, скорости подачи паров (обычно определяемой температурой карбонила), наличия несущих газов и присутствия добавок. [c.197] Как показывает анализ физико-химических процессов, протекающих при получении термодиссоциационных покрытий, парофазный метод нельзя сводить исключительно к химическому процессу термической диссоциации, хотя последний, несомненно, является определяющим. Б общем случае парофазное разложение карбонилов металлов можно условно представить как ряд последовательных элементарных процессов — испарение (сублимация) карбонила, движение и подвод паров к подложке, химические реакции в газовой фазе и на подложке (термическая диссоциация карбонила и побочные реакции), адсорбционно-десорбционные процессы на подложке, образование зародышей, рост кристаллов покрытия [21, 236]. В практических условиях каждый из перечисленных элементарных процессов парофазного разложения карбонилов может играть существенную роль и требует изучения. [c.199] Чистоте поверхности подложек необходимо предъявлять жесткие требования. Следует тщательно очищать поверхность от механических загрязнений (твердых частиц квели, металлов, абразивов и т. п.), от ржавчины и окалины, от лака и краски. От продуктов реакций, от нагара, от следов жира самого разнообразного происхождения (например, следов пальцев) и пр. [374, 375]. [c.199] Наиболее распространены следующие методы очистки подложек механическая обработка, отмочка и мойка в растворах, очистка растворителями, химическое травление нерастворимых загрязнений, очистка в тлеющем разряде, ионная очистка и др. Жидкостные методы часто сочетаются с циркуляцией растворов, их перемешиванием, а также с ультразвуковым воздействием [371]. [c.199] Ультразвуковые колебания подложки от 20 кгц до 500 Мгц приводят к кавитации, т. е. к возникновению на ее поверхности огромного количества немедленно взрывающихся пузырьков, что приводит к отрыву и удалению частиц загрязнений. В специальной литературе подробно приводится рецептура различных растворителей и травителей для очистки подложек [374—376]. [c.199] Для решения практических задач применяются разнообразные технологические схемы процесса получения термодиссоциационных металлических пленок и покрытий. Однако все они могут быть сведены к трем простым схемам — парофазное разложение с использованием газоносителя, либо разложение в вакууме и универсальная схема, включающая первые две. В случае необходимости следует предусмотреть возможность вращения подложки [371]. [c.199] На рис. 76 приведена схема, используемая нами для научно-исследовательских работ универсальной многоцелевой установки получения термодиссоциационных металлических покрытий [21, 217, 236, 251]. [c.199] Вернуться к основной статье