ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Высокочастотные индукционные плазмотроны, изготовленные из диэлектрических материалов из "Плазменные и высокочастотные процессы получения и обработки материалов в ядерном топливном цикле - настоящее и будущее" Удельное электросопротивление нитридной керамики снижается до одних и тех же значений при более высокой температуре, чем сопротивление оксидной керамики. Это также свидетельствует о более высоких эксплуатационных качествах нитридной керамики для изготовления индукционных плазмотронов. [c.114] Наиболее критическими при выборе материала для высокочастотного индукционного плазмотрона являются четыре параметра, точнее их совокупность коэффициент термического расширения, максимальная рабочая температура, удельное электросопротивление и электрическая прочность. С точки зрения комбинации этих параметров наилучшими конкурируюгцими друг с другом материалами являются кварц и пиролитический нитрид бора (в направлении, перпендикулярном оси осаждения). Кварц является уникальным материалом с точки зрения коэффициента термического расширения, хотя все его остальные параметры заметно уступают нитридной керамике. По этому параметру к кварцу ближе всего керамические материалы из A1N и Sis N4, хотя другие их электрофизические и термические свойства гораздо выше. [c.115] Альтернативой плазмотронам из керамических материалов являются комбинированные металлодиэлектрические плазмотроны. [c.115] Вернуться к основной статье