ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Фазовые диаграммы нитридных систем из "Карбиды и нитриды переходных металлов" Информация о фазовых диаграммах нитридов переходных металлов очень скудна, часто ненадежна и противоречива. Основные трудности в их изучении связаны с тем, что устойчивость промежуточных фаз, фазовых границ и параметров решетки зависит от метода приготовления препаратов. Например, установлено, что азотирование галогенидов металлов IV группы в аммиаке при низких температурах приводит к образованию мононитридов Ti N и Zr N (где х 1) со структурой В [31, 32]. Денситометрические исследования показали, что в этих фазах преимущественно дефектна металлическая подрешетка. Однако при азотировании Ti(TiH2) и 2г(7гНг) в азоте или аммиаке образуются мононитриды TiN.v и ZrN.v, у которых л 1 с преимущественно дефектной азотной подрешеткой. [c.88] Кристаллические структуры тонких нитридных пленок также часто отличаются от структур массивных образцов. Например, TaN в тонкой пленке, полученной реактивным распылением, имеет структуру В1 [9], в то время как в массивных образцах эта структура не наблюдается. В тонких пленках NbN [33, 34] и Nb2N [35] также не были обнаружены некоторые фазы, полученные в массивных образцах. [c.88] Влияние примесей, таких, как кислород, трудно установить. Кислород образует с нитридами твердые растворы и, кроме того, окислы. Поэтому очень нелегко установить, какое количество кислорода растворено в нитриде. [c.89] Вернуться к основной статье