ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Аморфный нитрид кремния и система из "Квантовая химия в материаловедении" Аморфный нитрид кремния (a-SiN ) интенсивно изучается в связи с использованием стеклообразных нитридокремниевых пленок в электронике [39]. Данное состояние нитрида допускает в достаточно широких пределах варьировать его стехиометрию, добиваясь оптимального уровня свойств. Одним из наиболее эффективных приемов стабилизации составов (от полупроводникового а-81зМ4 до близких к составу аморфного Si) является гидрирование a-SiN, [12]. [c.88] Предметом работ по теоретическому описанию a-SiN является изучение его локальных электронных характеристик, природы межатомных связей в зависимости от соотношения Si/N, а также исследование микроскопического механизма стабилизации некоторых составов нитрида в присутствии примеси — водорода [19, 26, 41—46]. Экспериментальные исследования электронной структуры a-SiN , SlN H проведены в работах [47—49]. [c.88] Вернуться к основной статье