ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Электронное излучение и электронная литография из "Светочувствительные полимерные материалы" С точки зрения литографии электронное излучение интересно главным образом тем, что его длина волны на несколько порядков меньше, чем УФ-излучения, поэтому с помощью пучка электронов можно в принципе сформировать изображение на несколько порядков меньшее, чем с помощью света. Электронным пучком легко управлять, его можно сфокусировать в пятно диаметром менее 10 нм. Такая фокусировка необходима для формирования топологического рисунка с субмикронными размерами элементов. [c.33] Источники электронов, используемые в ЭЛУ, такие же, как и в классическом электронном микроскопе. Эти источники в зависимости от способа эмиссии электронов делятся на 2 типа с непосредственно накаляемым катодом и с катодом с полевой эмиссией [45]. В первом случае эмиссия электронов осуществляется нагреванием выше критической температуры такого материала, как вольфрам, вольфрам с примесью тория, гексаборид лантана. [c.37] Схема технологического цикла электронной литографии. [c.37] Преимуществом вольфрамовых катодов является легкость их производства, стабильность по току и нечувствительность к изменению вакуума, они имеют максимальную интенсивность 1-10 — 3-10 A/( м p), а обогащение их поверхности торием повышает их срок службы. Гексаборид лантана менее стабилен, но интенсивнее излучает [10 A/( м p)], требуя, однако, более высокий вакуум в рабочем пространстве. [c.37] Вернуться к основной статье