ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Количественный микроанализ при наклонном падении электронного пучка на образец из "Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ том 2" В большинстве рентгеновских микроанализаторов пучок падает нормально на плоский образец. В большинстве же растровых электронных микроскопов для получения соответствующего угла выхода образец устанавливается в наклонном положении. [c.38] Ускоряющее напряжение 20 кВ. Видно влияние наклона образца на траектории электронов и на соответствующую область генерации рентгеновского излучения (ср. с рис. 7,2). [c.39] Влияние наклона образца на точность количественного анализа было исследовано теоретически путем расчетов взаимодействия электронов с образцом методом Монте-Карло, которые ясно показали изменения распределения рентгеновского излучения и его интенсивности в зависимости от наклона образца [124, 152]. Пример влияния наклона приведен на рис. 7.10. Эксперименты с наклоненными образцами показали, что если образец и эталон расположены одинаково и угол наклона не является экстремальным (0 6О°), то при количественном анализе не возникает больших ошибок [153, 154]. [c.39] ЛИШЬ 7% даже при больших различиях в атомных номерах образца и эталона. [c.40] Чтобы отдать предпочтение какому-либо из этих двух выражений, необходимо больше теоретических и экспериментальных работ. [c.40] Желательно попытаться отрегулировать положение образца по высоте таким образом, чтобы свести все к случаю II. Однако если случай II не удается реализовать, следует тщательно измерить л и AZ и по формулам (7.40а) и (7.40в) получить значение угла выхода для расчета по методу трех поправок. Чем ближе пластина детектора (меньше х), тем больше неопределенность в значении ф. Более того, поскольку телесный угол детектора увеличивается с уменьшением расстояния х, использовать положение центра детектора для расчета можно лишь в виде аппроксимации. В случае когда образец не обращен поверхностью непосредственно к спектрометру, требуется дополнительная коррекция на азимутальный угол [158]. [c.41] Вернуться к основной статье