ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Рассеяние из "Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ том 1" Отметим, что полная длина свободного пробега всегда должна быть меньше наименьшего значения величины средней длины свободного пробега различных возможных процессов. [c.22] Второй основной тип рассеяния — это неупругое рассеяние. При неупругом рассеянии энергия передается атомам и электронам мишени и кинетическая энергия электрона пучка уменьшается. Имеется множество возможных процессов неупругого рассеяния. Мы рассмотрим лишь основные процессы, представляющие интерес в растровой электронной микроскопии и рентгеновском микроанализе (основные сведения по этому вопросу можно получить в книге Киттеля [И]). Краткое описание этих процессов будет представлено здесь. [c.25] Уравнение Бете представляет собой удобное соотношение для определения величины потери энергии электроном пучка при движении его в образце. Отметим, что х — это расстояние вдоль траектории, которая за счет упругого рассеяния отклоняется от прямой линии. Таким образом, за исключением пленок, толщина которых меньше средней длины свободного пробега, для упругого рассеяния при расчете потерь энергии в толстых пленках или массивных мишенях необходимо вводить коррекцию на дополнительное увеличение пути иод действием упругого рассеяния. [c.27] Поведение тормозной способности 5 в зависимости от атомного номера может быть получено на основе следующих рассуждений. Из уравнения (3.6) следует, что средний потенциал ионизации / возрастает при увеличении атомного номера [15]. При определении тормозной способности из уравнения Бете выводится зависимость от плотности, откуда получается, что тормозная способность для данной энергии пропорциональна (2/Л)1п[с//(2)], где с — постоянная. Так как оба члена (Z/A) и lп[ /f(Z)] уменьшаются при возрастании атомного номера, то тормозная способность 5 уменьшается, будучи приблизительно на 50% больше для алюминия, чем для золота при 20кэВ [16]. [c.28] Вернуться к основной статье