ПОИСК Статьи Рисунки Таблицы Модификация полимерного компонента резистов из "Светочувствительные полимерные материалы " Фирма ЗМ (США) вводит в композицию позитивного резиста с целью улучшения механических свойств слоя смесь НС и акри-латного полимера (например, сополимера 35 % стирола, 59 % этилакрилата и 6% метакриловой кислоты), модифицированных полиизоцианатами в присутствии триэтилендиамина [пат. Великобритании 1474073]. С этой же целью составляют композицию фоторезиста из светочувствительного хинондиазида, НС, резола и добавок — эпоксифенольного лака и бутилированного стиромаля после обычных операций и обработок получают высокотираже-устойчивую печатную форму [а. с. СССР 8 89486]. [c.81] Слои высокой прочности, дающие тиражеустойчивые печатные формы, отличающиеся хорошим разрешением и чистотой пробельных элементов, получены путем введения в композицию резиста продукта конденсации новолака и акрилонитрил-бутадиен-сти-рольного сополимера с ММ менее 160000 [франц. пат. 2382024 пат. США 4102686]. [c.82] Конденсаты фенола, п-грег-бутилфенола п формальдегида (например, с молярным соотношением 2,3 2,4 3,3) этерифицируют на 20—60% 5-или 4-сульфокислотами либо 5-или 4-карбоновымп кислотами диазонафталинона. Эти смолы дают очень хорошую дифференциацию экспонированных и неэкспонированных участков по отношению к щелочному проявителю благодаря стойкости исходного слоя к действию оснований. Рельеф обладает стойкостью к действию кислотных травителей и отличается механической прочностью [пат. США 4308386]. [c.83] Не всегда укрепляющий слой добавочный полимер хорошо совмещается со светочувствительной композицией, поэтому в ряде работ его вводят в виде отдельной фазы (слоя). Например, на подложку анодированного алюминия наносят резист, затем на него найлон и сверху снова резист. Во время фотолиза засвечиваются оба слоя с хинондиазидом при проявлепни в этих местах вместе с новолаком удаляется и промежуточный найлоновый слой [пат. Великобритании 1478333]. Это усложнение техрюлогии дает возможность при небольшой суммарной толщине слоя повысить светочувствительность при меньшем расходе хинондиазида, а такгке тиражеустойчивость печатной формы. Укрепляющий полимер можно наносить или на слой резиста, или под него, используя растворители, избирательно растворяющие только компоненты слоя, наносимого последующим [пат. США 4207106]. [c.84] Вернуться к основной статье